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光刻技术涉及光学、机械加工、电路等，属于电子技术类专业的范畴1。
光刻机主要应用于电子信息工程专业、微电子科学与工程专业、集成电路工程专业、通信工程专业等专业中。其中，电子信息工程专业是光刻机应用最广泛的专业之一，因为光刻技术在半导体制造领域的重要性不言而喻，掌握光刻机的原理和操作技能是电子信息工程专业学生必须掌握的基本技能之一2。
电子技术类，比如微电子与固体电子专业。
