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smee光刻机是由同兴达公司制造的。2月1日，昆山同兴达成功举行了首台SMEE光刻机的搬入仪式。
中国有光刻机，位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。
首台国产光刻机是上海微电子装备（集团）股份有限公司研发的。上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。
公司坐落于张江高科技园区内，邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化基地等多个国家级基地。
1、我国科学家首次获得纳米级光雕刻三维结构，这一重大发现意义是在科学研究方面提高了一个层次，也更好地使雕刻技术更厉害。
2、这一新技术，突破了传统飞秒激光的光衍射极限，把光雕刻铌酸锂三维结构的尺寸，从传统的1微米量级，首次缩小到纳米级，达到30纳米，大大提高了加工精度。
3、我国的光刻机发展已经近到了28纳米的光刻机，可以满足日常的射频芯片，蓝牙芯片以及其他电器中的一些芯片的要求和标准。但是相较于芬兰等欧美国家的光刻机芯片，已经达到了个位数的纳米。
纳米。根据中国人民网显示，2023年中国已经成功研发出国产第一台28纳米（nm）光刻机，该光刻机预计在年底能够交付使用。
smee光刻机28纳米。据媒体报道，上海微电子装备（SMEE）股份有限公司创新技术，在之前90nm的基础上，宣布在2021年至2022年交付国产第一台28nm的immersion式光刻机。
纳米。根据查询工业网得知，国产光刻机最大分辨率为90纳米，波长193纳米。国产光刻机的最先进型号，是来自上海微电子的SSA60020。
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