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靶材是贵金属靶材材料。贵金属靶材采用精炼、熔化锻造、压延加工或粉未冶金工艺制造的半导体器件、记录媒体显示器件等的配线和薄膜的贵金属及其合金的溅射靶材。
Au、Pt、Pd、Ag靶材用于集成电路和大规模集成电路，CoCrPt、CoPt和CoPd等合金靶材用于磁记录。
金靶材 金,俗称黄金,是一种过渡金属,金是延性及展性高的金属。其化学性质不活泼,是不活泼的金属元素。
