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纳米光刻机最早由荷兰ASML公司的工程师团队研发而成。ASML是全球领先的半导体设备制造商，其纳米光刻机是目前最先进的半导体芯片制造设备之一。这款设备采用了先进的光刻技术，能够实现纳米级的精密加工，对于半导体行业的发展起着至关重要的作用。ASML公司在纳米光刻机的研发和创新上投入了大量的资金和人力，并不断提升设备性能，以满足半导体行业对于更高性能、更小尺寸芯片的需求。
