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90nm光刻机经过两次曝光,可以制成45nm的芯片,三次曝光后可以制成22nm的芯片。
但是曝光次数越多,芯片的良品率就越低,漏电率越高,所以大都用来制造28nm芯片。
再看ASML,EUV光刻机达到了13.5nm,三次曝光后可以制造3nm制程的芯片,领先上海微电子4代。
这样巨大的差距追赶起来难度是可想而知的。
90nm光刻机从研制成功到量产,打磨了整整11年。