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功能/应用范围： 12英寸全自动集成电路测试，用于8-12英寸晶圆测试。
主要附件： Tester head hinge
主要技术指标： UF3000是目前国际上最先进的12英寸全自动探针台。 主要指标：误差-2～2um，测试晶圆8-12inch。
技术特色： UF3000是目前最先进的12英寸晶圆测试设备，采用OTS光学自动对准，提供优异的移动精度，操作方便灵活、提供inkless map、multi site测试等功能，是12英寸晶圆测试的最佳选择。
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