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测量不规则薄膜电阻的方法主要有两种：
一种是圆片级四探针法测量，该方法可以提供比较准确的电阻测量，而操作比较繁琐，需要探针台、半导体参数仪等设备进行辅助；
另一种是范德堡测量方法，该方法在实际应用中通常采用大希腊十字结构来测量电阻，而为了抵消电压表失调，需要施加正反电流在多个位置进行多次测量并进行数据分析。
