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90nm光刻机和28nm光刻机相差3代。代数是指芯片制造工艺的进步，每一代代表了新一代的技术和更小的制造尺寸。90nm代表了90纳米的制造尺寸，而28nm代表了28纳米的制造尺寸。因此，28nm光刻机比90nm光刻机更先进，具有更高的分辨率和更高的集成度。
