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跟纳米无关。悟空芯片是量子芯片，跟传统硅基芯片不同，其运算能力与纳米制程无关，取决于对量子比特的掌控，悟空芯片应该会高于64位量子比特，也就是2的64次方存储能力。悟空芯片的重要相关设备-无损探针的精度大概是1um。
3纳米。
在这条量子芯片生产线上采用了一双“火眼金睛”——国内首个专用于量子芯片生产的NDPT-100无损探针电学测量平台，简称“无损探针台”。
