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不可以。光刻机的分辨率决定了它可以制造的芯片最小尺寸。5纳米光刻机的分辨率为5纳米，而10纳米芯片的尺寸小于5纳米，因此5纳米光刻机无法制造10纳米芯片。要制造10纳米芯片，需要更高分辨率的光刻机。
