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目前芯片都采用光刻技术，而光的分辨率是远远大于电子的，电子显微镜的分辨率可以达到0.2nm，波长极短，光学的都是几百纳米。
以前的大屁股显示器，采用阴极射线管+偏转磁场来实现，精度是比较低的，但100多年前就发明出来了，说明门槛低很多啊。
现在的电子显微镜，都可以看到原子层面，用类同的技术开发“电子刻录机”，用来刻芯片，不是绰绰有余吗？
偏转线圈由电流控制，以目前的技术，让电子实现nm级的位移还不是轻轻松松，难点是寻找在高能电子下能够明显反应的物质，涂覆在晶圆上，实现刻录功能即可。
光刻机的光源使用的是激光，而不是电子，主要原因是激光可以提供更高强度和更纯净的光，以及更好的空间聚焦性能，从而可以实现更高精度和更高质量的光刻效果。
电子光源虽然也可以用于光刻，但其发光效率和光学特性等方面相对较差。
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