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5nm集成电路工艺的尺寸指删极宽度。
5nm集成电路工艺尺寸就是5nm制程的一种芯片，nm是自然就是长度单位纳米的简称。简单得来说的5nm，指的是CPU的上形成的互补氧化物金属半导体场效应晶体管栅极的宽度，也被称为栅长。详细得来解释的话，电流从源极（Source）流入漏级（Drain），栅极（Gate）相当于闸门，两端源极和漏级的通断就是由栅极来控制的。电流会损耗，而栅极的宽度则决定了电流通过时的损耗，表现出来就是手机常见的发热和功耗，宽度越窄，功耗越低。而栅极的最小宽度（栅长），也就是就是5nm芯片工艺中的数值尺寸。
nm，纳米，是集成电路中的金属线宽度。目前还没有5纳米工艺的量产生产线。22纳米以下的工艺还都处于实验阶段。
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