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不是，使用的是13.5纳米euv光刻机。
3纳米芯片并不是使用3纳米光刻机，而且也没有3纳米光刻机这种设备。目前7纳米制程以下的芯片都是euv光刻机制造的，14-7纳米有部分是duv光刻机制造的。而制造3纳米芯片的euv光刻机实际上是13.5纳米极紫外光光源光刻机，是通过多次曝光等技术达到3纳米工艺制程的。
