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3nm芯片有多大ichaiyang 2024-05-09 22:45 46
这就是蚀刻机和光刻机之间的区别了最简单的区别就是光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀,这就是这光刻和蚀刻的难度。光刻的过程就是现在制作好的硅圆表面涂上一层光刻胶,接下来通过光线透过掩膜照射到硅圆表面,因为光刻胶的覆盖,照射到的部分被腐蚀掉,没有光照的部分被留下来,这部分便是需要的电路结构。蚀刻则是电路结...

中微3nm蚀刻机与芯片光刻机区别?

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这就是蚀刻机和光刻机之间的区别了

最简单的区别就是光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀,这就是这光刻和蚀刻的难度。

光刻的过程就是现在制作好的硅圆表面涂上一层光刻胶,接下来通过光线透过掩膜照射到硅圆表面,因为光刻胶的覆盖,照射到的部分被腐蚀掉,没有光照的部分被留下来,这部分便是需要的电路结构。

蚀刻则是电路结构了,干刻目前还没有实现商业量产,其原理是通过等离子体代替化学溶液,去除不需要的硅圆部分。

区别在于蚀刻与光刻,蚀刻是需要蚀刻剂,蚀刻剂就一种腐蚀剂,光刻就是用激光烧刻。

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