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euv目前最低是4纳米。
euv光刻机是荷兰阿斯麦尔公司生产的全球唯一高端光刻机，其生产的设备绝大多数被台积电和三星购得，英特尔有少量几台。所以芯片纳米最低要看台积电和三星这两家的能力。目前，已经宣布量产的最低制程的芯片是4纳米的芯片，分别是台积电代工的联发科天玑9000和三星代工的高通骁龙8 gen 1芯片。
EUV目前已经最低可以生产5纳米的芯片制造了。
EUV极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。
我国要走的路还很长， 目前2021年我国将实现28nm芯片的100%自主性量产，2022年有望实现14nm芯片的自主性量产。
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