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纳米芯片就是以纳米工艺制程制造的硅基芯片。
芯片的纳米数是制造芯片的制程，或指晶体管电路的尺寸，单位为纳米（daonm）。芯片是几纳米的指的是芯片内部最小结构的硅晶体管的删极宽度。而制造纳米芯片是通过光刻机的反复曝光、蚀刻等技术方法，把硅晶圆加工成可以使用的芯片。
芯片纳米是指芯片内部电路与电路之间的距离。比如14纳米(nm)工艺的芯片是指芯片内部电路与电路之间的距离是14纳米(nm)。
