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大约一百八十吨。
首先要说并没有四纳米光刻机，目前最先进的就是荷兰阿斯麦尔公司的13.5纳米极紫外光euv光刻机。该光刻机目前由台积电、三星代工，可以制造出四纳米制程芯片。而euv光刻机体积非常巨大，其重量高达一百八十吨，零部件近十万个。
