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用的荷兰阿斯麦尔公司的光刻机。
14nm芯片量产用的是荷兰阿斯麦尔公司生产的duv光刻机？14nm芯片量产应该是指中芯国际的代工芯片技术达到14nm制程，这家公司基本用的都是荷兰阿斯麦尔的光刻机。因为上海微电子目前只有90nm光刻机，量很少也不适合制造14nm芯片。日本尼康和佳能的光刻机也类似，所以中高制程芯片用的都是荷兰阿斯麦尔duv光刻机。
