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3纳米
首先要说光刻机不能以大小区分，而是要以制程和光源波长等类型区分。目前全球最高端光刻机，也就是光刻机制程最小的，是荷兰阿斯麦尔公司的euv13.5纳米极紫外光光源光刻机。该光刻机目前可以制商业化量产造达到4纳米工艺制程的芯片，3纳米芯片也已经流片。
