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3纳米，是指节点技术的关键尺寸，而这个尺寸不是芯片能用肉眼看到的几何尺寸(一般是毫米到厘米级别），而一般是指栅极长度（gate length）。
在我国自主造芯的过程中，半导体设备的重要性被无限放大，尤其是被誉为工业皇冠明珠的光刻机，是我们实现“中国芯”这一目标必须要跨越的“藩篱”。
功耗更低，性能更好，运行速度更快。
