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3纳米制程是半导体制造制程的一个水准。
2017年9月29日,台积电宣布未来3纳米(nm)制程晶圆厂,落脚台湾台南市的南部科学工业园区,预计最快2022年量产。台积电于2020年第一季宣布3纳米制程将在2021年试产,并在2022下半年正式量产,其3纳米制程将继续采用FinFET(鳍式场效晶体管)。
2019年5月,三星表示自家3纳米预计2021年推出。受到2020年初2019冠状病毒病疫情影响,三星的3纳米制程推出时程可能延后到2022年。
Intel在2019年泄漏的路线图显示,其3纳米制程预计在2025年推出。
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