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刻机3纳米是指：
节点技术的关键尺寸，而这个尺寸不是芯片能用肉眼看到的几何尺寸(一般是毫米到厘米级别），而一般是指栅极长度（gate length）。这个长度是又掩膜版上定义好的尺寸决定的，而在生产过程中决定性的由光刻机来实现（当然也要有光刻胶，腐蚀等技术的支持才能实现）。
光刻纳米机中的”纳米“指的是产品线条宽度（工艺尺寸）。即光刻机加工的芯片线路尺寸可以达到纳米量级，即10^(-19)m，如CPU中的 5nm工艺、7nm工艺和14nm工艺。而光的频率一般在几百纳米，如可见光的波长范围一般在400nm~700nm。
光刻机3纳米大约是人体头发丝的两万分之一。
1纳米相当于头发丝直径的六万分之一，那么头发丝的直径是1纳米的六万倍。所以3纳米就是头发丝的两万分之一。目前全球有两家公司能制作3纳米芯片，既三星公司和台积电，两家公司的3纳米芯片均已流片，预计明年能投产，这是目前全球最小制程的芯片。
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