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1. 28纳米浸没式光刻机能生产较小尺寸的芯片。2. 这是因为纳米级别的光刻机具有更高的分辨率和精度,可以在芯片上制造更小的结构和元件。28纳米是指光刻机能够实现的最小线宽或最小特征尺寸。3. 随着科技的进步,光刻机的分辨率不断提高,可以生产更小尺寸的芯片。目前,28纳米已经不是最先进的技术,市场上已经有更小尺寸的芯片问世,如7纳米、5纳米等。这些更小尺寸的芯片能够提供更高的集成度和性能。