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nm是纳米，光刻机nm是指光刻机所使用的光源波长，通常为365nm、248nm、193nm等。其中，波长越短代表能量越高，对于制作更小的芯片，需要使用更短波长的光源。目前，最先进的半导体制造中，已经使用了13.5nm的极紫外光（EUV），这种波长可以制造出更密集、更小的晶体管和电容，有助于提高芯片性能和功耗，是未来芯片制造的趋势。
指的是可以做出来的晶体管的最小尺寸，1nm等于1米的十亿分之一
