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中芯国际进口的是DUV光刻机，这个型号光刻机可以实现28纳米制程的芯片，也可以实现14纳米制程的芯片，但7纳米制程很难，良品率不足。
中芯国际定购了asml一台EUV光刻机，可以实现7纳米制程，也可以完成5纳米制程。但由于美国阻拦，未能获得。
中芯国际目前是我国最先进的电子设备生产企业，其研制的14nm的光刻机还没有投产。所以14nm以上的必须进口，14nm以下的可以自己生产。
