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最新65nm。2021年7月20日,由我国上海微电子装备有限公司研发的国产首台封装65nm光刻机SMEE 正式搬入青岛富士康半导体厂房,该光刻机项目将于10月底竣工,今年年底就能够实现量产36万片晶圆。...

smee光刻机多少纳米?

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最新65nm。

2021年7月20日,由我国上海微电子装备有限公司研发的国产首台封装65nm光刻机SMEE 正式搬入青岛富士康半导体厂房,该光刻机项目将于10月底竣工,今年年底就能够实现量产36万片晶圆。

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