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当前最新的IGBT7最高65nm制程，目前IGBT基本都是90nm以上制程，国内上海微电子90nm光刻机是可以做的，有无出货不清楚，目前产线看到的还是进口的，蚀刻机中微和北方华创都能搞定也能批量出货。按理说功率半导体不存在中远期不存在卡脖子问题。
