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是的，
中芯国际基本上用的是荷兰阿斯麦尔公司的duv光刻机，国产光刻机可能也有比如上海微电子，但是90nm低端制程的光刻机很难做到14nm制程。要是想达到14nm芯片量产可能要用到28nm中端光刻机，目前能批量生产中端光刻机的就是荷兰阿斯麦尔，日本尼康和佳能恐怕产量非常低。所以中芯14nm大概率是荷兰光刻机不是本国光刻机。
中芯国际14纳米芯片用的是荷兰阿斯麦尔公司的光刻机，可能还有少量日本的光刻机。目前全球只有四家公司能够制造光刻机，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。
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