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关于这个12nm工艺，应该是中芯国际在上海的子公司中芯南方的工艺。去年12月，中芯国际就表示，已经实现12nm工艺小批量试产，相比14纳米工艺，晶体管尺寸有所缩减，功耗降低20%、错误率降低20%，总体性能提升10%。所以说，这个12纳米量产从技术角度来说，应该问题不大。
中国生产光刻机的企业只有上海微电子（smee），目前量产的光刻机是90nm光刻机，28mm光刻机还在紧锣密鼓的研发当中，有望今年年底下线。至于12nm光刻机我国目前还生产不了。
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