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14nm芯片和5nm芯片差三代。
理论上来说同样是用euv光刻机加工的芯片都属于同一代产品，euv光刻机目前主要用于从14-4nm的芯片制程。但在光刻机使用技术上，可以分的比较细一些，从最开始的22纳米、14纳米，然后是10纳米7纳米5纳米，要是这么分14nm和5nm基本差个小三代。
芯片14纳米和5纳米，指的是芯片的制程。现实中同样大小的芯片，制程越小芯片，搭载的东西越多，技术越先进，相应的性能越好。5纳米芯片比14纳米芯片性能更好，两芯片之间是10纳米芯片和7纳米芯片，14纳米芯片和5纳米芯片相差3代。
14nm到5nm中间相隔7nm，6nm
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