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能量产14纳米芯片。
2022年中国光刻机能生产14纳米芯片。目前我国芯片制造工厂最高可以批量生产14纳米芯片，而技术上可以生产7纳米芯片，不过目前良品率不高无法量产。而上海微电子去年28纳米光刻机已经通过技术检测和验证，该光刻机完全可以和阿斯麦尔光刻机一样制造14纳米芯片。
