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光刻机的精度直接影响到芯片的制程。传统意义上讲，制程越小，单个晶元上能够承载的晶体管数目就越多，芯片的性能就越好，比如说目前手机上应用的7nm芯片和5nm芯片来比，性能和集成度就会相对差一些。
而芯片的制程是个光刻机的精度有关的，光刻机的光源波长越小，单位面积上可雕刻的线路就越多，生产出来的芯片单位面积上的晶体管数目就越多。简单的说就是，如果你想在单位面积上雕刻更密的花纹，最好的办法就是用更薄的刻刀
纳米芯片技术指电路集成的程度，光刻机是制造芯片的机器。
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