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一般来说是用激光。比如说要在玻璃上刻蚀图形,大致步骤为:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蚀剂(即光刻胶有正性和负性之分 、干燥(固化 、曝光(方式很多,如激光直写、通过掩模板同时曝光等 、去胶(光刻胶曝光后性质发生光化学变化,去胶的方法也很多,如放在刻蚀剂中,用正性胶的话,被光照到的地方就会被溶解,没有光照到的地方光刻胶保留下来,到这里就已经在光刻胶上刻蚀...

光刻机是干什么用的,工作原理是什么?

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一般来说是用激光。比如说要在玻璃上刻蚀图形,大致步骤为:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蚀剂(即光刻胶有正性和负性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多,如激光直写、通过掩模板同时曝光等)、去胶(光刻胶曝光后性质发生光化学变化,去胶的方法也很多,如放在刻蚀剂中,用正性胶的话,被光照到的地方就会被溶解,没有光照到的地方光刻胶保留下来,到这里就已经在光刻胶上刻蚀出了所需图形)、清洗、转移(方法更多,如离子束轰击,光刻胶和玻璃同时被轰击,光刻胶被轰击完后,暴露出来的玻璃也被轰击,就把光刻胶上的图形转移到玻璃上)。实际上,光刻的方法和具体步骤相当复杂,对环境要求也非常高,以上只是基本步骤,让你大致了解而已。

光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路,当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。--光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种,分别是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴芯片;以及利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样

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