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半导体中POLY做什么工艺?半导体中POLY是做多晶硅工艺。
多晶硅(POLY)在半导体器件制造过程中,应用非常广泛,主要用为栅极、互连、填充材料。如在平面IGBT器件中,多晶硅用于栅极和互连材料;沟槽栅 IGBT产品制造过程中,多晶硅来用作沟槽填充材料。
在半导体工艺中,poly是多晶硅工艺。